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반도체 제조장비에 대해 SEMI 위험성평가 전문가에 위해 빠르게 평가보고서를 지원해 드립니다. |
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주요대상품목 반도체제조 또는 그와 유사한 제조공정에서의 화학물질사용 및 취급장비, 자동화동화장비, 재료, 가스, 마이크로 패턴, 설비 및 안전, 패키징, 평판 디스플레이 등의 반도체와 평판
디스플레이 장비 및 재료등.
SEMI 표준규격 (SEMI Equipment Safety Guidelines )
- S1 Equipment Safety Labels - S2 Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment - S3 Heated Chemical Baths - S4 Segregation/Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets - S5 Flow-Limiting Devices - S6 Ventilation - S8 Ergonomics Engineering - S9 Electrical Design Verification Tests - S10 Risk Assessment - S11 Equipments Mini-environments - S12 Equipment Decontamination - S13 Operation and Maintenance Manuals - S14 Fire Risk Assessment and Mitigation - S15 Toxic and Flammable Gas Detection Systems - S16 Equipment Disposal - S17 Unmanned Transport Vehicles (UTV) Systems - S18 Silence Family Gases Handling - S19 Training of Semiconductor Manufacturing Equipment Installation, Maintenance and Service Personnel - S20 Identification and Documentation of Energy Isolation Devices for Hazardous Energy Control
SEMI 위험성평가프로세스
SEMI 평가를 위한 제출서류
- 설계시방서 (Design specification) - 기구도면, 전기도면, 공압도면 (Mechanical, Electrical, Pneumatic Drawings) - 지진설계자료 (Seismic Design Data) - 재료안전보건자료 (Material Safety Data Sheets - MSDS) - 원재료리스트 (BOM) - 배출통풍설계자료 (Exhaust Ventilation design data) - 기타
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